絕對式光柵尺的分辨率與測量精度是衡量其性能的關鍵指標,兩者密切相關但存在本質區別。以下從定義、影響因素、技術實現及應用場景等方面進行深度解讀:
一、絕對式光柵尺核心概念解析:
1.分辨率
定義:光柵尺能夠區分的最小位置變化量,即相鄰兩個刻線之間的物理距離。
示例:若分辨率為1μm,表示光柵尺可檢測到1μm的位移變化。
技術基礎:由光柵柵距決定。例如,柵距為20μm的光柵,通過細分技術(如4倍細分)可將分辨率提升至5μm。
2.測量精度
定義:實際測量值與真實值之間的最大偏差,包括系統誤差和隨機誤差。
示例:標稱精度為±1μm,表示測量結果可能在真實值±1μm范圍內波動。
關鍵限制:受光柵制造誤差、安裝誤差、環境因素(溫濕度、振動)等影響。
二、絕對式光柵尺分辨率的實現機制:
1.光柵原理
物理柵距:光柵上均勻分布的刻線間距,決定基礎分辨率。
細分技術:通過光電信號插值將柵距分割為更小單位。
2.信號處理
莫爾條紋效應:主光柵與指示光柵疊加形成放大的莫爾條紋,提升電子判別精度。
IC芯片與算法:內置電路對原始信號進行細分和噪聲濾波,輸出高精度脈沖或數字信號。
三、絕對式光柵尺測量精度的影響因素:
1.系統誤差
光柵制造誤差:刻線均勻性、直線度偏差會導致周期性誤差。
安裝誤差:光柵尺與運動軸不平行、夾緊變形等引入阿貝誤差。
標定誤差:校準時參考基準的精度限制。
2.環境誤差
熱膨脹:光柵材料(如玻璃、鋼)與被測件熱膨脹系數不同,導致溫度每變化1°C可能產生±0.01μm/m的誤差。
振動與加速度:動態測量中,光柵抖動或信號延遲可能導致±0.1μm級誤差。
3.電子噪聲
信號采集電路的噪聲、電源干擾等會降低信噪比,影響低位比特的穩定性。
